全自动传片机
全自动传片机是针对晶圆的全自动倒片、理片机；可从一个Wafer Cassette传递到另外一个Wafer Cassette，通过参数设定可实现Up Ranking、down Ranking及自定义方式传递，采用X、Y、Z 三轴机械走位及陶瓷手柄实现高精度定位，确保产品在传递过程的安全。设备可适用12寸8寸晶圆及各种标准料盒，也可订制非标料盒，设备采用工控机控制，15寸触摸操作人机界面，操作简易方便。
产品详情
技术参数:
产品特点:
陶瓷Robot取放产品；
X,Y,Z三轴机械手精准定位；
支持各种半导体标准Wafer Cassette，自动Mapping扫描；
工控机控制，运行稳定；
15寸触摸屏显示操作，方便简洁；
参数可自由设定调用；
传片方式有Up Ranking,down Ranking模式也可自定义模式；
固定式或手柄式Bar Code Reader读取料盒条形码；
可配置去离子装置；
可订制Sec Gem功能；
Uph>100片/小时（不含定位功能）。
注：图文数据均以厂家提供为准。
